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发明名称
SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0432567(A)
申请公布日期
1992.02.04
申请号
JP19900138106
申请日期
1990.05.28
申请人
TOPPAN PRINTING CO LTD
发明人
SHIMIZU TOYOAKI
分类号
C23C14/35;H01L21/203
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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