发明名称 SURFACE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0432752(A) 申请公布日期 1992.02.04
申请号 JP19900138539 申请日期 1990.05.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AIZAWA KENJI
分类号 G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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