发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0433372(A) 申请公布日期 1992.02.04
申请号 JP19900138566 申请日期 1990.05.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 BABA YASUO
分类号 H01L29/73;H01L21/22;H01L21/331;H01L21/38;H01L29/205;H01L29/737 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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