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发明名称 DUST-PROOF FILM
摘要
申请公布号 US5085899(A) 申请公布日期 1992.02.04
申请号 US19880228577 申请日期 1988.08.05
申请人 MITSUI PETROCHEMICAL INDUSTRIES, LTD.;HITACHI, LTD. 发明人 NAKAGAWA, HIROAKI;TAKEHANA, YOICHI
分类号 H01L21/30;G03F1/00;G03F1/14;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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