发明名称 END STATION FOR ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH0433246(A) 申请公布日期 1992.02.04
申请号 JP19900136708 申请日期 1990.05.26
申请人 RICOH CO LTD 发明人 NAONAGA TAKUYA
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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