发明名称 METHOD FOR INSPECTING CONDUCTIVE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0432761(A) 申请公布日期 1992.02.04
申请号 JP19900140332 申请日期 1990.05.30
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE;NIHON KADENRIYUU KK 发明人 KOMURA YUKIO;ISHIDA SADANORI;HIBINO TAKASHI
分类号 G01N27/90;G01M11/00 主分类号 G01N27/90
代理机构 代理人
主权项
地址