| 发明名称 |
GAP MEASURING INSTRUMENT AND SURFACE SHAPE MEASURING INSTRUMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0432704(A) |
申请公布日期 |
1992.02.04 |
| 申请号 |
JP19900139296 |
申请日期 |
1990.05.29 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
SAKAI TAKAMASA;KONO MOTOHIRO;HIRATOKU SADAO;NAKATANI IKUHIRO |
| 分类号 |
G01B11/14;G01B11/02;G01B11/30 |
主分类号 |
G01B11/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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