| 发明名称 |
METALLIZING DEVICE WITH MOLECULAR BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0431393(A) |
申请公布日期 |
1992.02.03 |
| 申请号 |
JP19900133785 |
申请日期 |
1990.05.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MATSUMOTO TAKAYASU;OGAWA YOSHIFUMI;TAMURA NAOYUKI |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B35/00;H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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