发明名称 MANUFACTURING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0430517(A) 申请公布日期 1992.02.03
申请号 JP19900137844 申请日期 1990.05.28
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 HANAKI YOSHIMITSU
分类号 C23C14/50;H01L21/285 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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