发明名称 METHOD OF OPTICALLY INSPECTING DEFECT OF PLATE-SHAPED BODY
摘要
申请公布号 JPH0431754(A) 申请公布日期 1992.02.03
申请号 JP19900137010 申请日期 1990.05.29
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 YAMAUCHI HIDEO
分类号 G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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