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发明名称
METHOD OF OPTICALLY INSPECTING DEFECT OF PLATE-SHAPED BODY
摘要
申请公布号
JPH0431754(A)
申请公布日期
1992.02.03
申请号
JP19900137010
申请日期
1990.05.29
申请人
ASAHI GLASS CO LTD
发明人
YAMAUCHI HIDEO
分类号
G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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