发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0430529(A) 申请公布日期 1992.02.03
申请号 JP19900138750 申请日期 1990.05.28
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 SHINOKI HIROYUKI
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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