发明名称 MANUFACTURE OF ELECTRODE LINE
摘要
申请公布号 JPH0426127(A) 申请公布日期 1992.01.29
申请号 JP19900131782 申请日期 1990.05.22
申请人 NEC CORP 发明人 KURIHARA KO
分类号 H01L21/3205;H01L21/288 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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