SHUTTER FOR MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWING DEVICE,申请号JP19900129076-传众专利搜索

发明名称	SHUTTER FOR MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0426585(A)	申请公布日期	1992.01.29
申请号	JP19900129076	申请日期	1990.05.21
申请人	HITACHI LTD	发明人	UCHIDA YOKO;GOSHIMA SHIGEO;FUJISAKI YOSHIHISA
分类号	C30B23/08;H01L21/203	主分类号	C30B23/08
代理机构		代理人
主权项
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