THIN FILM FORMING DEVICE,申请号JP19900130705-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0426110(A)	申请公布日期	1992.01.29
申请号	JP19900130705	申请日期	1990.05.21
申请人	FUJI ELECTRIC CO LTD	发明人	ISHIOKA HISAMICHI
分类号	H01L21/205;H01L21/31	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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