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发明名称 ETCHING METHOD FOR INGOT
摘要
申请公布号 JPH0426124(A) 申请公布日期 1992.01.29
申请号 JP19900131556 申请日期 1990.05.22
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 HATAKEYAMA HIROMITSU;OTOHATA KOJI
分类号 C23F1/00;C23F1/08;H01L21/208;H01L21/306 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
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