发明名称 TORCH FOR HIGH FREQUENCY PLASMA AND ELEMENT ANALYSIS APPARATUS USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH0426099(A) 申请公布日期 1992.01.29
申请号 JP19900129077 申请日期 1990.05.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 YASUDA MAKOTO;KIMURA TAKESHI;OKAMOTO YUKIO;OISHI KONOSUKE
分类号 G01N21/73;H05H1/34 主分类号 G01N21/73
代理机构 代理人
主权项
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