| 发明名称 |
ELECTRON BEAM TESTING OF INTEGRATED CIRCUITS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0209236(B1) |
申请公布日期 |
1992.01.29 |
| 申请号 |
EP19860304317 |
申请日期 |
1986.06.06 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED;TEXAS INSTRUMENTS LIMITED |
发明人 |
SPICER, DENIS |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R31/28;G01R31/302;G01R31/305;H01J37/244;H01J37/28 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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