发明名称 PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL AND APPARATUS FOR PRODUCING THIS CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0426580(A) 申请公布日期 1992.01.29
申请号 JP19900129948 申请日期 1990.05.18
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 WACHI MICHINORI;YAMADA HIDEO;NAKAMORI SHOJI
分类号 C30B11/00;C30B29/42;H01L21/208 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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