| 主权项 |
1.一种机械手臂之承盘,包括: 一驱动装置,可驱动机器手臂使其沿着预定之方向 移动; 一承盘,其系与上述驱动装置相结合,其上系用以 承载一晶圆;以及 一缓冲垫,系贴合于上述承盘之边缘; 当承盘在进行晶圆的上载/下载时,若其与晶圆之 间因为操作上的错误而碰撞,设于上述承盘边缘之 缓冲垫将可以吸收碰撞之冲击,以避免造成晶圆破 片之现象。2.如申请专利范围第1项所述之机械手 臂之承盘,其中该承盘系先去除适当的边缘面积之 后再与缓冲垫贴合。3.如申请专利范围第2项所述 之机械手臂之承盘,其中该缓冲垫在与承盘贴合之 后所形成之面积大小系与未去除边缘之前承盘的 面积相当。4.如申请专利范围第1项所述之机械手 臂之承盘,其中该缓冲垫系为橡皮环结构。5.如申 请专利范围第1项所述之机械手臂之承盘,其中该 承盘之材质系为不锈钢。6.如申请专利范围第1项 所述之机械手臂之承盘,其中该驱动装置更包括一 驱动轴和一抽气帮浦。7.如申请专利范围第6项所 述之机械手臂之承盘,其中该抽气帮浦系利用真空 管路连通到承盘表面之抽气孔,并利用抽真空方式 将该晶圆吸附住。8.如申请专利范围第6项所述之 机械手臂之承盘,其中该驱动轴可驱动承盘进行预 定方向之直线运动与转动。9.如申请专利范围第6 项所述之机械手臂之承盘,其中该驱动轴与承盘之 间系利用螺栓互相结合。图式简单说明: 图一系为习知技术机械手臂之承盘示意图; 图二A、二B系为习知技术之机械手臂在上/下载过 程中,承盘与晶圆发生碰撞之示意图; 图三系为本创作机械手臂之承盘示意图。 |
