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发明名称 LASER CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0426114(A) 申请公布日期 1992.01.29
申请号 JP19900131851 申请日期 1990.05.22
申请人 NEC CORP 发明人 KUSUMI YOSUKE;YOSHINO YOICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/26;H01L21/263 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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