发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 JPH0425120(A) 申请公布日期 1992.01.28
申请号 JP19900129914 申请日期 1990.05.18
申请人 SHARP CORP 发明人 TAKAHASHI KOUSEI;HOSODA MASAHIRO;TSUNODA ATSUTAKE;SUYAMA NAOHIRO;MATSUI KANEKI
分类号 H01L31/10;C30B23/08;H01L21/203;H01S5/00;H01S5/042 主分类号 H01L31/10
代理机构 代理人
主权项
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