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发明名称
CORRECTION SYSTEM FOR A CHARGED-PARTICLE BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号
US5084622(A)
申请公布日期
1992.01.28
申请号
US19900564221
申请日期
1990.08.07
申请人
U.S. PHILIPS CORPORATION
发明人
ROSE, HARALD
分类号
H01J37/153
主分类号
H01J37/153
代理机构
代理人
主权项
地址
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