发明名称 SINGLE POINT TAB METHOD
摘要
申请公布号 JPH0424931(A) 申请公布日期 1992.01.28
申请号 JP19900126395 申请日期 1990.05.15
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NEMOTO TOSHIYA;HIRAI HIROYUKI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址