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发明名称
METHOD OF FORMING A LOW RESISTANCE CONTACT BY FORMING A CONTACT HOLE WITHIN A RECESS
摘要
申请公布号
US5084416(A)
申请公布日期
1992.01.28
申请号
US19900481561
申请日期
1990.02.20
申请人
MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION
发明人
OZAKI, HIDETO;MAYUMI, SHUICHI;UEDA, SEIJI
分类号
H01L21/768;H01L23/485
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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