发明名称 METHOD OF FORMING A LOW RESISTANCE CONTACT BY FORMING A CONTACT HOLE WITHIN A RECESS
摘要
申请公布号 US5084416(A) 申请公布日期 1992.01.28
申请号 US19900481561 申请日期 1990.02.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人 OZAKI, HIDETO;MAYUMI, SHUICHI;UEDA, SEIJI
分类号 H01L21/768;H01L23/485 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址