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发明名称 DETECTING DEVICE OF FAULT OF INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0424572(A) 申请公布日期 1992.01.28
申请号 JP19900129532 申请日期 1990.05.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJIWARA KATSUMI;SERIZAWA JOJI;TATE HIROYUKI;OBA HIDETOSHI
分类号 G01R31/00 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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