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发明名称 METHOD FOR DIMENSIONAL CORRECTION OF RECTANGULAR BEAM, AND ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY DEVICE USING THE METHOD
摘要
申请公布号 JPH0425112(A) 申请公布日期 1992.01.28
申请号 JP19900129216 申请日期 1990.05.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAGUCHI HIDENORI;MATSUOKA GENYA;IWASAKI TERUO;TAKAHASHI HIROYUKI;ANDO HIROZUMI;KAWASAKI KATSUHIRO
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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