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经营范围
发明名称
WAFER PROBER
摘要
申请公布号
JPH0425041(A)
申请公布日期
1992.01.28
申请号
JP19900126192
申请日期
1990.05.16
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
OTSUKA JUNKO
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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