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发明名称 PROBER
摘要
申请公布号 JPH0424935(A) 申请公布日期 1992.01.28
申请号 JP19900124927 申请日期 1990.05.15
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOUKIYOU EREKUTORON YAMANASHI KK 发明人 KARASAWA WATARU;TAKAO ITARU
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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