发明名称 FOREIGN SUBSTANCE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0425147(A) 申请公布日期 1992.01.28
申请号 JP19900129062 申请日期 1990.05.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 SASAMORI MARI;MIZUNO FUMIO
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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