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发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0424487(A) 申请公布日期 1992.01.28
申请号 JP19900130869 申请日期 1990.05.21
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD 发明人 TANAKA SUSUMU
分类号 H05B3/66;F27D11/02 主分类号 H05B3/66
代理机构 代理人
主权项
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