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发明名称 PROBE EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0422149(A) 申请公布日期 1992.01.27
申请号 JP19900127583 申请日期 1990.05.17
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 HOSHI SEIICHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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