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发明名称 WASHING BATH FOR PREPARATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0423433(A) 申请公布日期 1992.01.27
申请号 JP19900128544 申请日期 1990.05.18
申请人 TANAKA KIKINZOKU KOGYO KK 发明人 NISHIMORI TAKASHI
分类号 B08B3/04;C23C14/02;C23G3/00;H01L21/304 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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