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发明名称 NOZZLE
摘要
申请公布号 JPH0422467(A) 申请公布日期 1992.01.27
申请号 JP19900127439 申请日期 1990.05.17
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MIYASHITA TAKESHI
分类号 G03F7/16;B05C5/00;H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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