MANUFACTURE OF THERMOCOUPLE PROTECTING TUBE FOR DIFFUSION FURNACE,申请号JP19900126810-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF THERMOCOUPLE PROTECTING TUBE FOR DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号	JPH0423426(A)	申请公布日期	1992.01.27
申请号	JP19900126810	申请日期	1990.05.18
申请人	TOSHIBA CERAMICS CO LTD	发明人	NOZAWA TATSUO;HIROHATA TSUTOMU;TABEI TAKAHIRO;NAGAHAMA TOSHIO
分类号	G01K1/08;H01L21/22	主分类号	G01K1/08
代理机构		代理人
主权项
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