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发明名称
RECOVERY OF SURFACE-READY SILICON CARBIDE SUBSTRATES
摘要
申请公布号
KR100569796(B1)
申请公布日期
2006.04.10
申请号
KR19997009641
申请日期
1999.10.18
申请人
发明人
分类号
H01L33/00
主分类号
H01L33/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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