发明名称 RECOVERY OF SURFACE-READY SILICON CARBIDE SUBSTRATES
摘要
申请公布号 KR100569796(B1) 申请公布日期 2006.04.10
申请号 KR19997009641 申请日期 1999.10.18
申请人 发明人
分类号 H01L33/00 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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