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经营范围
发明名称
SPUTTER FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0421773(A)
申请公布日期
1992.01.24
申请号
JP19900126301
申请日期
1990.05.15
申请人
NIPPON STEEL CORP
发明人
EGUCHI KOHEI
分类号
C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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