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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH0420878(A)
申请公布日期
1992.01.24
申请号
JP19900126024
申请日期
1990.05.15
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
ASAI FUMIYASU;TAMURA TOSHIYUKI
分类号
G01R31/28;H01L21/66
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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