发明名称 METHOD AND PROBE FOR DETECTING PARTICULATE DETECTING PROBE
摘要
申请公布号 JPH0420842(A) 申请公布日期 1992.01.24
申请号 JP19900124050 申请日期 1990.05.16
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 YAMAMOTO HOZUMI;HOURAI IZUO;KAWAKAMI YUKIO;SUZUKI TSUNEKIYO
分类号 G01N15/14 主分类号 G01N15/14
代理机构 代理人
主权项
地址