WET-TIP DIE FOR EFG CRYSTAL GROWTH APPARATUS

摘要

On décrit une nouvelle matrice capillaire et un nouveau procédé de croissance de cristaux servant à la croissance d'un corps cristallin creux par méthode EFG (c'est-à-dire par croissance de plaques à partir d'un film délimité par un contour). Des fosses annulaires intérieures et extérieures (114, 116) entourent la pointe de la matrice. Des passages (180) servent à acheminer la matière en fusion (29) vers ces fosses à partir d'un creuset (24), de sorte que la matière en fusion (29) se trouvant dans lesdites fosses est mouillée et recouvre l'intérieur et l'extérieur des surfaces extérieures de la pointe de la matrice pendant la croissance d'un corps cristallin creux. La nouvelle matrice peut être structurée de façon à comporter une pointe de matrice plus basse et un capillaire plus court que les matrices EFG utilisées jusqu'ici pour faire croître avec succès des corps creux. La configuration de la matrice facilite le maintien d'une température sensibement uniforme de la pointe de la matrice autour de sa circonférence, améliorant ainsi l'uniformité de l'épaisseur de la paroi du corps cristallin (112) qui s'et formé à partir d'un film de matière en fusion (110) sur la pointe de la matrice. Les fosses réduisent les probabilités que le processus de croissance soit interrompu ou affecté par un noyage de la matrice. Si la surface du bain de croissance se rompt, le silicium liquide est piégé dans les fosses, ce qui élimine ou réduit l'éventualité d'un noyage de la matrice.