发明名称 ELECTRONIC DEVICE PROVIDED WITH METAL FLUORIDE FILM
摘要 Dispositif électronique comprenant un film au fluorure de métal qui peut être formé à basse température avec une très grande précision de traitement, caractérisé par le fait que le film au fluorure de métal est utilisé dans un moins une partie d'un film isolant.
申请公布号 WO9201310(A1) 申请公布日期 1992.01.23
申请号 WO1991JP00902 申请日期 1991.07.04
申请人 OHMI, TADAHIRO 发明人 OHMI, TADAHIRO
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/336;H01L21/8238;H01L29/51;H01L39/24 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址