发明名称 DETECTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0419579(A) 申请公布日期 1992.01.23
申请号 JP19900123737 申请日期 1990.05.14
申请人 NEC CORP 发明人 URABE MAKOTO
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
地址