| 发明名称 |
UNIFORM DEPOSITION OF A THIN FILM ON A SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU8001391(A) |
申请公布日期 |
1992.01.23 |
| 申请号 |
AU19910080013 |
申请日期 |
1991.06.20 |
| 申请人 |
AUSTRALIAN TELECOMMUNICATIONS CORPORATION |
发明人 |
GEOFFREY NORMAN PAIN |
| 分类号 |
C23C14/22;C23C16/44;C30B23/02;C30B25/02;C30B35/00;H01L21/20 |
主分类号 |
C23C14/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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