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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 EP0457049(A3) 申请公布日期 1992.01.22
申请号 EP19910106251 申请日期 1991.04.18
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 NISHIBE, TOHRU;NUNOUE, SHINYA;KUROBE, ATSUSHI
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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