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发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0417323(A) 申请公布日期 1992.01.22
申请号 JP19900121656 申请日期 1990.05.11
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 SHIBA YASUNARI;FUJITA KAZUHISA
分类号 H01L21/205;H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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