发明名称 EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0421746(A3) 申请公布日期 1992.01.22
申请号 EP19900310798 申请日期 1990.10.03
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 WATANABE, YUTAKA, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;EBINUMA, RYUICHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;MIZUSAWA, NOBUTOSHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;UZAWA, SHUNICHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA;KARIYA, TAKAO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址