| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION APPARATUS HAVING A PERFORATED HEAD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0283007(B1) |
申请公布日期 |
1992.01.22 |
| 申请号 |
EP19880104251 |
申请日期 |
1988.03.17 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
MIENO, FUMITAKE C/O FUJITSU LIMITED PATENT DEP. |
| 分类号 |
C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;C30B29/06;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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