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发明名称 ACID HARDENED PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 EP0462391(A3) 申请公布日期 1992.01.22
申请号 EP19910107484 申请日期 1991.05.08
申请人 SHIPLEY COMPANY INC. 发明人 THACKERAY, JAMES W.;ORSULA, GEORGE W.;CANISTRO, DIANNE;MCILNAY, SUSAN E.
分类号 G03F7/004;G03F7/029;G03F7/038;G03F7/38;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/038 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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