磁记录介质的制造方法

摘要

本发明提供一种磁记录介质的制造方法，能够制造具有凹凸图案的记录层、表面充分平坦、记录/再现特性良好的磁记录介质。在具有在基板之上以规定的凹凸图案形成并形成有记录要素作为凸部的记录层、以及形成在记录层之上的被检测材料的被加工体之上，使填充材料成膜而填充凹部，向被加工体的表面照射加工用气体，来除去记录要素的上表面的上侧的填充材料以及被检测材料，从而将表面平坦化，检测从被加工体被除去而飞散的被检测材料所包含的元素，基于该被检测材料所包含的元素的检测结果而停止加工用气体的照射。作为被检测材料，使用包含Al、Y、Zr、Nb、Rh、Ag、Tb、Ta、Au、Bi、Ti、In、W中任意一个元素的材料。

主权项

1.一种磁记录介质的制造方法，其特征在于，依次执行以下的工序：填充材料成膜工序，在被加工体之上使填充材料成膜而填充记录要素之间的凹部，该被加工体具有基板、在该基板之上以规定的凹凸图案形成并且作为该凹凸图案的凸部而形成上述记录要素的记录层、以及在该记录层的至少上述记录要素之上形成的被检测材料；平坦化工序，向上述被加工体的表面照射加工用气体，来除去上述填充材料以及上述被检测材料中的、上述记录要素上表面的上侧部分的至少一部分，从而将表面平坦化，并且，将从上述被加工体被除去而飞散的上述被检测材料所包含的元素基于其质量数而检测出来，并基于该被检测材料所包含的元素的检测结果而停止上述加工用气体的照射，作为上述被检测材料，使用包含有Al、Y、Zr、Nb、Rh、Ag、Tb、Ta、Au、Bi、Ti、In、W中任意一种元素的材料。