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发明名称 PERIPHERAL EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0417322(A) 申请公布日期 1992.01.22
申请号 JP19900120049 申请日期 1990.05.11
申请人 CANON INC 发明人 MURAKAMI EIICHI;KONO MICHIO
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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