摘要 |
Anordnung zur simultanen konfokalen Bilderzeugung mit bewegter Lochblende (5) im Beleuchtungsstrahlengang mit Lagemeßsystem (10), mit einer Rasterkamera (9), und mit synchron die Bildpunkte der Lochblende auslesender Verarbeitungseinrichtung (14) für die Rasterkamera. Ausführung als Mikroskop und als chromatischer Flächen-Profil-sensor. <IMAGE>
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